氣體塵埃粒子計數器的校正程序

更新時間：2012-11-30 點擊次數：2555

塵埃粒子計數器是用于測量潔凈環境中單位體積內塵埃粒子數和粒徑分布的儀器。它廣泛應用于為各省市藥檢所、血液中心、防疫站、疾控中心、質量監督所等機構、電子行業、制藥車間、半導體、光學或精密機械加工、塑膠、噴漆、醫院、環保、檢驗所等生產企業和科研部門。

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一．校正所需設備

1． 100級潔凈房或潔凈臺

2．一臺用于作對比，尚在校正期內的塵埃粒子計數器，如Royco323

3．各粒徑的標準粒子，如0.3um ; 0.5um ; 1um 等等

4．標準粒子氣體產生器，如Model 255

5．產生脫離水（DI水）的純水系統或類似裝置

6．其它普通電器，如220V電源插座，萬用表等等

二．校正的基本原理

標準粒子（如0.301um）通過255粒子產生器由液狀霧化成氣體，并由其內置泵通過0.2um的過濾器后的干燥氣體進入取樣管路，這時，將兩臺相同塵埃粒子計數器同時或先后對取樣管進行抽樣測試，并比校0.3um粒徑的測試值。如果其平均值在20%以內，認為合格。如果不同型號的粒子計數器，一要弄清楚其流速，取樣時間，取樣次數等參數，并且，還要明白怎樣理解其測試結果。

三. 校正的基本步驟：

現假設對一臺常見的Royco HH200作校正

1．先，要清楚Royco 323和HH200A有何差別，其測試原理一樣，但Royco 323流速為1CFM（立方英尺/分鐘），而Royco HH200則為0.1CFM。

2．先，請將潔凈臺開機，工作半小時，其間內也打開Royco 323和Royco HH200，讓其預熱半小時。

3．準備好255的取樣器管，并搭接好其所有氣體管路。

4．將配好的標準液（如0.301um）放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過噴嘴。

5．設置Royco323和Royco HH200的基本參數

（1）取樣時間都設置為00：01：00

（2）取樣次數都設置03

（3）取樣模式都設置為Auto

（4）間隔時間都設置為00：00：05

（5）讀數模式都設置為Cumulative

注：以上設置相同，因其流速有10倍差，故Royco323測試結果會是Royco HH200的10倍。

6．此時，打開255電源，調節脫原子氣體閥和干燥氣體閥，在調至噴嘴閥處呈氣霧出現，干燥氣體流速計約60SCFH時后，保持其工作狀態。

7．此時，讓Royco 323和Royco HH200同時工作，看其三次的平均結果，若在20%以內，視為合格。

8．拆下脫原子瓶，重新滴入其它標準粒子，重復該測試。

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以上校正只是對比校正，尚用萬用表對其基本參數測量，用示波器對其信號捕捉等來輔助調校。