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        當前位置:首頁   >  產(chǎn)品中心  >  DUKE標準粒子  >  均勻尺度聚合物粒子  >  SURF-CALDuke PD1100 SURF-CAL 尺度標準微粒

        Duke PD1100 SURF-CAL 尺度標準微粒

        簡要描述:NIST溯源尺度標準,用于需要高度視覺反差的尺度標和參考應用領域。SUR-CAL 為各種硅晶片的表面性狀的檢測和標提供了便利的工具。產(chǎn)品的粒徑復合儀器廠家所需的各種規(guī)格。

        • 產(chǎn)品型號:SURF-CAL
        • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
        • 更新時間:2017-06-12
        • 訪  問  量:2321

        詳細介紹

        Duke PD1100 SURF-CAL 尺度標準微粒

        NIST溯源尺度標準,用于需要高度視覺反差的尺度標和參考應用領域。SUR-CAL 為各種硅晶片的表面性狀的檢測和標提供了便利的工具。產(chǎn)品的粒徑復合儀器廠家所需的各種規(guī)格。SURF-CAL系列產(chǎn)品完符合SEMI行業(yè)協(xié)會的建立的SSIS標指導準則, 微粒粒徑縱貫0.047到3.0微米的范圍, 覆蓋了半導體技術藍圖(ITRS)所義的關鍵質(zhì)控點。通過將SUR-CAL聚苯乙烯乳膠微粒沉積在特的硅晶片(PSL)表面,用戶以對掃描儀進行周期性標,并與其它的掃描儀進行對比。 用戶還以對生產(chǎn)環(huán)節(jié)中關鍵階段SSIS的性能做出評估。產(chǎn)品包裝為50ml,微粒分散于超凈過濾去離子水中,微粒濃度 3 x 108 / ml。PD1100(粒徑1.112 μm)和小于這一粒徑的產(chǎn)品還提供1010 /ml 的產(chǎn)品包裝規(guī)格以滿足需要使用差別移動粒子分析儀(DMA)和其它尺寸排除技術粒子分析儀器的客戶需求。

         

        尺度測量方法學:

        為了確保與NIST的直接溯源性,產(chǎn)品的粒徑是直接從NIST提供的標準參考微粒通過電子顯微鏡或光學顯微鏡的測量中直接轉(zhuǎn)化而成的。尺度的不確性是依照NIST技術筆記1297方法(1994年版“NIST測量結(jié)果不確性評估指導方案”)計算得到的。產(chǎn)品中所描述的不確性為擴大性不確因素,覆蓋因子數(shù)為2 (K=2)。

         

        微粒組成:

        聚苯乙烯

        微粒密度

        1.05g/cm3

        微粒數(shù)量:

        3 x 108 or 1010顆/毫升

        包裝規(guī)格:

        50ml瓶裝,每盒6瓶

        微粒折射率:

        1.59 @ 589 nm (25°C)

        添加劑:

        產(chǎn)品保質(zhì)期:

        ≥2年

        存儲條件:

        冰箱儲藏(冰點以上)防止冰凍,緊閉瓶蓋防止污染

        包裝內(nèi)容

        標與溯源證書、粒子計數(shù)擬程序、原料安數(shù)據(jù)表(MSDS)

         

        Catalog Number
        (particles per mL)

        Certified
        Peak
        Diameter

        Expanded
        Uncertainty
        (of peak diameter)

        Sie Distribution

        3 x 108

        1010

         

         

        Std. Dev.

        C.V.%

        FWHM% *

        PD-047

        PD-047B

        0.047 µm

        0.002 µm

        0.004 µm

        7.5%

        17.4%

        PD-064

        PD-064B

        0.064 µm

        0.002 µm

        0.003 µm

        5.4%

        10.9%

        PD-083

        PD-083B

        0.083 µm

        0.002 µm

        0.004 µm

        4.2%

        9.6%

        PD-092

        PD-092B

        0.092 µm

        0.005 µm

        0.004 µm

        4.6%

        9.1%

        PD-100

        PD-100B

        0.100 µm

        0.005 µm

        0.004 µm

        2.6%

        5.2%

        PD-125

        PD-125B

        0.126 µm

        0.006 µm

        0.003 µm

        2.4%

        4.8%

        PD-155

        PD-155B

        0.155 µm

        0.003 µm

        0.003 µm

        1.6%

        3.7%

        PD-200

        PD-200B

        0.202 µm

        0.005 µm

        0.004 µm

        1.8%

        4.0%

        PD-204

        PD-204B

        0.204 µm

        0.008 µm

        0.004 µm

        1.8%

        3.7%

        PD-215

        PD-215B

        0.220 µm

        0.007 µm

        0.003 µm

        1.6%

        3.3%

        PD-305

        PD-305B

        0.304 µm

        0.005 µm

        0.004 µm

        1.4%

        3.4%

        PD-365

        PD-365B

        0.360 µm

        0.013 µm

        0.010 µm

        2.0%

        5.0%

        PD-500

        PD-500B

        0.498 µm

        0.010 µm

        0.006 µm

        1.1%

        2.5%

        PD-800

        PD-800B

        0.809 µm

        0.014 µm

        0.006 µm

        0.8%

        1.8%

        PD-802

        PD-802B

        0.802 µm

        0.011 µm

        0.009 µm

        1.1%

        2.4%

        PD1100

        PD1100B

        1.112 µm

        0.018 µm

        0.011 µm

        1.0%

        2.5%

        PD1600

         

        1.59 µm

        0.02 µm

        0.016 µm

        1.0%

        2.6%

        PD2000

         

        2.01 µm

        0.04 µm

        0.019 µm

        1.0%

        3.3%

        PD3000

         

        3.04 µm

        0.06 µm

        0.026 µm

        0.9%

        2.7%

         

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