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        當前位置:首頁   >  產品中心  >  DUKE標準粒子  >  均勻尺度聚合物粒子  >  SURF-CALDuke PD-092 SURF-CAL 尺度標準微粒

        Duke PD-092 SURF-CAL 尺度標準微粒

        簡要描述:NIST溯源尺度標準,用于需要高度視覺反差的尺度標和參考應用領域。SUR-CAL 為各種硅晶片的表面性狀的檢測和標提供了便利的工具。產品的粒徑復合儀器廠家所需的各種規格。SURF-CAL系列產品完符合SEMI行業協會的建立的SSIS標指導準則, 微粒粒徑縱貫0.047到3.0微米的范圍, 覆蓋了半導體技術藍圖(ITRS)所義的關鍵質控點

        • 產品型號:SURF-CAL
        • 廠商性質:經銷商
        • 更新時間:2017-06-11
        • 訪  問  量:3335

        詳細介紹

        Duke PD-092 SURF-CAL 尺度標準微粒

        NIST溯源尺度標準,用于需要高度視覺反差的尺度標和參考應用領域。SUR-CAL 為各種硅晶片的表面性狀的檢測和標提供了便利的工具。產品的粒徑復合儀器廠家所需的各種規格。SURF-CAL系列產品完符合SEMI行業協會的建立的SSIS標指導準則, 微粒粒徑縱貫0.047到3.0微米的范圍, 覆蓋了半導體技術藍圖(ITRS)所義的關鍵質控點。通過將SUR-CAL聚苯乙烯乳膠微粒沉積在特的硅晶片(PSL)表面,用戶以對掃描儀進行周期性標,并與其它的掃描儀進行對比。 用戶還以對生產環節中關鍵階段SSIS的性能做出評估。產品包裝為50ml,微粒分散于超凈過濾去離子水中,微粒濃度 3 x 108 / ml。PD1100(粒徑1.112 μm)和小于這一粒徑的產品還提供1010 /ml 的產品包裝規格以滿足需要使用差別移動粒子分析儀(DMA)和其它尺寸排除技術粒子分析儀器的客戶需求。

         

        尺度測量方法學:

        為了確保與NIST的直接溯源性,產品的粒徑是直接從NIST提供的標準參考微粒通過電子顯微鏡或光學顯微鏡的測量中直接轉化而成的。尺度的不確性是依照NIST技術筆記1297方法(1994年版“NIST測量結果不確性評估指導方案”)計算得到的。產品中所描述的不確性為擴大性不確因素,覆蓋因子數為2 (K=2)。

         

        微粒組成:

        聚苯乙烯

        微粒密度

        1.05g/cm3

        微粒數量:

        3 x 108 or 1010顆/毫升

        包裝規格:

        50ml瓶裝,每盒6瓶

        微粒折射率:

        1.59 @ 589 nm (25°C)

        添加劑:

        產品保質期:

        ≥2年

        存儲條件:

        冰箱儲藏(冰點以上)防止冰凍,緊閉瓶蓋防止污染

        包裝內容

        標與溯源證書、粒子計數擬程序、原料安數據表(MSDS)

         

        Catalog Number
        (particles per mL)

        Certified
        Peak
        Diameter

        Expanded
        Uncertainty
        (of peak diameter)

        Sie Distribution

        3 x 108

        1010

         

         

        Std. Dev.

        C.V.%

        FWHM% *

        PD-047

        PD-047B

        0.047 µm

        0.002 µm

        0.004 µm

        7.5%

        17.4%

        PD-064

        PD-064B

        0.064 µm

        0.002 µm

        0.003 µm

        5.4%

        10.9%

        PD-083

        PD-083B

        0.083 µm

        0.002 µm

        0.004 µm

        4.2%

        9.6%

        PD-092

        PD-092B

        0.092 µm

        0.005 µm

        0.004 µm

        4.6%

        9.1%

        PD-100

        PD-100B

        0.100 µm

        0.005 µm

        0.004 µm

        2.6%

        5.2%

        PD-125

        PD-125B

        0.126 µm

        0.006 µm

        0.003 µm

        2.4%

        4.8%

        PD-155

        PD-155B

        0.155 µm

        0.003 µm

        0.003 µm

        1.6%

        3.7%

        PD-200

        PD-200B

        0.202 µm

        0.005 µm

        0.004 µm

        1.8%

        4.0%

        PD-204

        PD-204B

        0.204 µm

        0.008 µm

        0.004 µm

        1.8%

        3.7%

        PD-215

        PD-215B

        0.220 µm

        0.007 µm

        0.003 µm

        1.6%

        3.3%

        PD-305

        PD-305B

        0.304 µm

        0.005 µm

        0.004 µm

        1.4%

        3.4%

        PD-365

        PD-365B

        0.360 µm

        0.013 µm

        0.010 µm

        2.0%

        5.0%

        PD-500

        PD-500B

        0.498 µm

        0.010 µm

        0.006 µm

        1.1%

        2.5%

        PD-800

        PD-800B

        0.809 µm

        0.014 µm

        0.006 µm

        0.8%

        1.8%

        PD-802

        PD-802B

        0.802 µm

        0.011 µm

        0.009 µm

        1.1%

        2.4%

        PD1100

        PD1100B

        1.112 µm

        0.018 µm

        0.011 µm

        1.0%

        2.5%

        PD1600

         

        1.59 µm

        0.02 µm

        0.016 µm

        1.0%

        2.6%

        PD2000

         

        2.01 µm

        0.04 µm

        0.019 µm

        1.0%

        3.3%

        PD3000

         

        3.04 µm

        0.06 µm

        0.026 µm

        0.9%

        2.7%

         

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